晶瑞電(diàn)材：已啓(qi)動ArF（193）高端(duān)光刻膠(jiao)研發，KrF光(guāng)刻膠完(wan)成中試(shi)

　　12月13日，晶(jing)瑞電材(cai)在特定(dìng)對象調(diào)研活動(dong)中表示(shi)，目前ArF(193)高(gao)端光刻(ke)膠研發(fa)工作已(yi)正式啓(qi)動，已完(wan)成光刻(kè)機、勻膠(jiāo)顯影機(ji)、掃描電(diàn)✌️鏡、台階(jiē)儀等設(she)備購置(zhi)，其中ASML1900Gi型(xíng)光刻機(jī)設備正(zheng)在積極(ji)調試中(zhong)。同時公(gōng)司正在(zai)積極開(kāi)展對上(shàng)遊材料(liao)樹脂單(dān)體及配(pei)方的研(yan)究。

 

　　公司(si)高端KrF(248)光(guang)刻膠已(yi)完成中(zhōng)試，建成(cheng)了中試(shì)示範線(xian)，已🧡進入(rù)客戶測(ce)試階段(duan)。近期已(yǐ)購得KrF光(guang)刻機一(yī)台，可用(yong)于KrF光刻(kè)膠的♊曝(pù)光測試(shì)，同時公(gong)司KrF光刻(kè)膠量産(chan)化生産(chan)線正在(zai)積極建(jiàn)設中。

 

　　據(ju)晶瑞電(diàn)材表示(shi)，此前，公(gōng)司已經(jīng)購得用(yong)于負膠(jiāo)、g 線、i線、ArF 等(děng)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼 4 台光刻(ke)機，再加(jia)之此次(ci)購得的(de)KrF光刻機(jī)，公司已(yǐ)經到位(wèi)5台⭐光刻(ke)機。

 

來源(yuán)：晶瑞電(dian)材官網(wǎng)

 

　　此外據(ju)晶瑞電(diàn)材透露(lu)，晶瑞(湖(hú)北)微電(diàn)子材料(liào)項目一(yī)期目前(qián)正在設(shè)備安裝(zhuāng)調試階(jiē)段。

 

　　據悉(xi)，2025年12月，晶(jing)瑞電材(cái)(原晶瑞(rui)股份)發(fa)布公告(gao)稱，拟在(zai)湖北省(sheng)潛江市(shi)投資建(jian)設晶瑞(rui)(湖北)微(wei)電子材(cái)料項目(mu)，生🌈産光(guang)刻膠及(ji)其相關(guan)配套的(de)功能性(xìng)材料、電(dian)子級雙(shuāng)氧水、電(dian)子級氨(an)水等半(bàn)導體及(jí)面闆顯(xiǎn)示用電(dian)子材料(liao)等👉，項目(mù)計劃總(zǒng)投資約(yuē)爲人民(min)币15.2億元(yuan)。

 

　　晶瑞電(dian)材在該(gai)調研活(huo)動中還(hái)表示，受(shou)益于我(wǒ)國半導(dao)體☔材料(liao)行業國(guo)産替代(dài)進程提(tí)速，下遊(yóu)芯片廠(chǎng)商需求(qiu)增長，當(dāng)前公司(si)主導産(chǎn)品半導(dǎo)體級光(guāng)刻膠及(jí)配套材(cai)料、超淨(jing)🤩高純試(shì)劑、锂電(diàn)🐆池材料(liao)等産銷(xiao)兩旺🌈。

 

　　未(wèi)來随着(zhe)公司 KrF 光(guāng)刻膠測(ce)試完成(cheng)并逐步(bu)量産、ArF 光(guāng)刻膠研(yan)發成功(gōng)👨‍❤️‍👨并最終(zhōng)量産，以(yǐ)及公司(si)南通、陝(shǎn)西、四川(chuan)等基地(di)新增的(de)高純硫(liú)酸❌、NMP、光刻(kè)膠等産(chǎn)品産能(néng)的逐步(bu)釋放，有(yǒu)望成爲(wei)公司新(xin)的利潤(rùn)增長🈲點(dian)。