打(da)破日(ri)企壟(long)斷隻(zhi)是時(shi)間問(wen)題？東(dong)進半(ban)導體(ti)宣布(bu)與三(san)星成(cheng)功🔞研(yan)發EUV光(guang)刻膠(jiao)

　　據韓(han)媒etnews報(bao)道，韓(han)國東(dong)進半(ban)導體(ti)與三(san)星電(dian)子合(he)作，成(cheng)功開(kai)👺發了(le)超細(xi)半導(dao)體加(jia)工必(bi)不可(ke)少的(de)材料(liao)——極紫(zi)👧🏾外(EUV)光(guang)刻膠(jiao)(PR)。EUV光刻(ke)膠是(shi)因其(qi)技術(shu)難度(du)高而(er)完全(quan)依賴(lai)國外(wai)的🧑🏽‍🎄産(chan)品，此(ci)💕次韓(han)國通(tong)過國(guo)内企(qi)業合(he)作實(shi)現了(le)💁🏼‍♀️國産(chan)化，意(yi)味着(zhe)日企(qi)💫壟斷(duan)的打(da)破。

 

東(dong)進半(ban)導體(ti)華城(cheng)工廠(chang)鳥瞰(kan)圖，來(lai)源：etnews

 

　　11月(yue)22日，東(dong)進半(ban)導體(ti)宣布(bu)于近(jin)期通(tong)過了(le)三星(xing)電子(zi)的EUV光(guang)刻✋膠(jiao)可👽靠(kao)性測(ce)試，發(fa)布此(ci)消息(xi)後，截(jie)至11月(yue)22日上(shang)午😝11時(shi)45分，東(dong)進半(ban)導體(ti)股價(jia)較前(qian)一交(jiao)易日(ri)上漲(zhang)12.8%。

 

　　一位(wei)熟悉(xi)此事(shi)的業(ye)内人(ren)士表(biao)示，“東(dong)進半(ban)導體(ti)在其(qi)位于(yu)京畿(ji)道華(hua)城的(de)工廠(chang)開發(fa)了 EUV光(guang)刻膠(jiao)，并在(zai)三星(xing)電子(zi)的華(hua)城EUV生(sheng)🤑産線(xian)上對(dui)其進(jin)行了(le)測試(shi)，并獲(huo)得了(le)最終(zhong)的可(ke)靠性(xing)認證(zheng)。”

 

三星(xing)電子(zi)， 來源(yuan)：etnews

　　光刻(ke)膠是(shi)半導(dao)體曝(pu)光工(gong)藝中(zhong)的關(guan)鍵材(cai)料。它(ta)被施(shi)加在(zai)晶片(pian)上，當(dang)用半(ban)導體(ti)曝光(guang)設備(bei)照射(she)光時(shi)，會發(fa)生化(hua)學反(fan)👩🏽‍🐰‍👩🏿應并(bing)改變(bian)物理(li)特性(xing)。通過(guo)用顯(xian)影劑(ji)沖洗(xi)掉來(lai)繪⛹🏻‍♂️制(zhi)微電(dian)路，隻(zhi)留下(xia)必要(yao)的部(bu)分👌。

 

　　在(zai)韓國(guo)，用于(yu)KrF和ArF工(gong)藝的(de)光刻(ke)膠已(yi)大量(liang)生産(chan)，但沒(mei)有🎅🏿用(yong)于可(ke)以繪(hui)制更(geng)精細(xi)電路(lu)的EUV光(guang)刻膠(jiao)，大部(bu)分需(xu)要🏊🏿‍♀️依(yi)賴日(ri)本進(jin)口。此(ci)外在(zai)2019年，日(ri)本與(yu)韓國(guo)爆發(fa)争議(yi)之後(hou)曾經(jing)🛀🏼限制(zhi)三種(zhong)重要(yao)🙂‍↕️的半(ban)導🚶🏾‍♀️‍➡️體(ti)材料(liao)對韓(han)國的(de)出口(kou)，EUV光刻(ke)膠就(jiu)是其(qi)中之(zhi)一，爲(wei)此韓(han)國公(gong)司也(ye)加快(kuai)了👩🏿‍❤️‍💋‍👨🏽EUV光(guang)刻膠(jiao)的研(yan)🥑️發，東(dong)進半(ban)導體(ti)也是(shi)其中(zhong)之一(yi)。

 

　　東進(jin)半導(dao)體利(li)用自(zi)有的(de)基礎(chu)設施(shi)，如現(xian)有的(de)ArF曝光(guang)機😸和(he)比利(li)時半(ban)導體(ti)研究(jiu)所I MEC EUV設(she)備，開(kai)始進(jin)行EUV光(guang)刻膠(jiao)國産(chan)~化研(yan)發。

 

　　今(jin)年早(zao)些時(shi)候，其(qi)加強(qiang)了EUV光(guang)刻膠(jiao)專家(jia)并加(jia)速了(le)技☠️術(shu)👯🏾‍♂️開發(fa)🏃🏿‍♀️‍➡️。此外(wai)😥，三星(xing)電子(zi)積極(ji)支持(chi)EUV測試(shi)環境(jing)，以達(da)到可(ke)以在(zai)現場(chang)使用(yong)的質(zhi)量水(shui)平。

 

　　目(mu)前尚(shang)不清(qing)楚三(san)星電(dian)子是(shi)否會(hui)立即(ji)将東(dong)進半(ban)導體(ti)👹EUV光刻(ke)膠投(tou)入半(ban)導體(ti)生産(chan)線。正(zheng)常情(qing)況下(xia)，如果(guo)質量(liang)合格(ge)就會(hui)投入(ru)量産(chan)線。因(yin)此，有(you)人預(yu)測最(zui)早可(ke)能在(zai)明年(nian)上半(ban)年🙆🏿供(gong)應。三(san)星電(dian)子和(he)東進(jin)半導(dao)體目(mu)前都(dou)拒絕(jue)就本(ben)條新(xin)聞表(biao)态。三(san)星電(dian)子的(de)一位(wei)官員(yuan)表示(shi)：“我們(men)無法(fa)與合(he)作公(gong)司确(que)認測(ce)試是(shi)否通(tong)過。”

 

　　就(jiu)該消(xiao)息而(er)言，三(san)星與(yu)東進(jin)半導(dao)體研(yan)發的(de)EUV光刻(ke)膠産(chan)品隻(zhi)是成(cheng)功通(tong)過了(le)測試(shi)，距離(li)量産(chan)時間(jian)還不(bu)确👨🏻‍🏭定(ding)，但這(zhe)一消(xiao)息也(ye)表明(ming)三星(xing)已經(jing)在EUV光(guang)刻膠(jiao)方面(mian)取得(de)成功(gong)，量産(chan)将隻(zhi)是時(shi)間問(wen)題。