打破日(ri)企壟斷(duàn)隻是時(shí)間問題(tí)？東進半(ban)導體宣(xuan)布與三(sān)星成功(gōng)研發EUV光(guang)刻膠

　　據(jù)韓媒etnews報(bao)道，韓國(guó)東進半(ban)導體與(yǔ)三星電(dian)子合作(zuò)，成功⛷️開(kai)發了超(chāo)💋細半導(dao)體加工(gōng)必不可(ke)少的材(cai)料——極紫(zi)外(EUV)光刻(ke)膠(PR)。EUV光刻(kè)💁膠是因(yin)其技術(shu)難度高(gao)而完全(quán)依賴國(guó)外的🏃産(chan)品，此次(ci)韓國通(tong)過國内(nèi)企業合(hé)作實現(xiàn)了國産(chǎn)化，意味(wèi)着日企(qi)壟斷的(de)打破。

 

東(dōng)進半導(dǎo)體華城(chéng)工廠鳥(niao)瞰圖，來(lai)源：etnews

 

　　12月13日(rì)，東進半(bàn)導體宣(xuān)布于近(jin)期通過(guo)了三星(xīng)電子的(de)EUV光刻膠(jiāo)可靠⛱️性(xìng)測試，發(fa)布此消(xiao)息後，截(jié)至12月13日(rì)上午11時(shi)45分，東進(jin)半導體(ti)股價較(jiao)前一交(jiao)易日上(shang)漲12.8%。

 

　　一位(wèi)熟悉此(cǐ)事的業(yè)内人士(shi)表示，“東(dong)進半導(dǎo)體在其(qi)位于京(jīng)畿道✉️華(hua)城的工(gong)廠開發(fa)了 EUV光刻(ke)膠，并在(zai)三星🔞電(diàn)子🍓的華(hua)城EUV生産(chan)線㊙️上對(duì)🏃🏻‍♂️其進行(hang)了測試(shi)，并獲得(dé)了最終(zhong)的可靠(kào)性認證(zhèng)。”

 

三星電(diàn)子， 來源(yuán)：etnews

　　光刻膠(jiao)是半導(dao)體曝光(guang)工藝中(zhong)的關鍵(jiàn)材料。它(ta)被施加(jiā)在晶片(pian)上⁉️，當用(yòng)半導體(tǐ)曝光設(she)備照射(shè)光時，會(hui)發生化(hua)學反應(yīng)并❄️改變(biàn)物理❗特(tè)性。通過(guò)用顯影(yǐng)劑沖洗(xi)掉來繪(hui)制微電(dian)🐕路，隻留(liu)🌈下必要(yào)的部分(fèn)。

 

　　在韓國(guo)，用于KrF和(hé)ArF工藝的(de)光刻膠(jiāo)已大量(liang)生産，但(dan)沒有用(yong)于可以(yǐ)繪制更(gèng)精細電(diàn)路的EUV光(guāng)刻膠，大(da)部分需(xu)要依賴(lai)日本進(jin)口🙇🏻。此外(wai)在2019年，日(ri)本與韓(hán)國爆發(fa)争議之(zhi)後曾經(jing)限制三(sān)種重要(yao)的半導(dǎo)體材料(liao)對韓國(guo)的出口(kǒu)，EUV光刻膠(jiāo)就是其(qí)中之一(yī)，爲此韓(han)國公司(sī)也加快(kuài)了EUV光刻(kè)膠的研(yan)發，東進(jìn)半導✂️體(tǐ)也是其(qí)中之一(yi)。

 

　　東進半(bàn)導體利(lì)用自有(you)的基礎(chǔ)設施，如(rú)現有的(de)ArF曝光機(ji)和比🏃🏻‍♂️利(li)時半導(dao)體研究(jiu)所I MEC EUV設備(bèi)，開始進(jìn)行EUV光刻(kè)膠國産(chǎn)化研發(fā)。

 

　　今年早(zǎo)些時候(hou)，其加強(qiáng)了EUV光刻(kè)膠專家(jiā)并加速(su)了技術(shu)🌍開發。此(ci)⛱️外⛱️，三星(xing)電子積(jī)極支持(chi)EUV測試環(huán)境，以達(dá)到可以(yǐ)在現場(chang)使用的(de)質量水(shuǐ)平。

 

　　目前(qián)尚不清(qing)楚三星(xīng)電子是(shì)否會立(li)即将東(dong)進半導(dao)體EUV光📐刻(ke)膠投入(rù)半導體(tǐ)生産線(xian)。正常情(qíng)況下，如(rú)果質量(liang)合格就(jiù)會投入(rù)量産線(xiàn)💋。因此，有(yǒu)人預測(cè)最早可(kě)能在明(ming)年上半(bàn)年供應(yīng)。三星電(diàn)子和東(dong)進半導(dǎo)體目前(qián)都拒絕(jué)就本條(tiáo)新聞表(biao)态。三星(xing)電子的(de)一🧑🏽‍🤝‍🧑🏻位官(guan)員表示(shi)：“我們無(wu)法與合(he)作公司(si)确認測(cè)試是否(fǒu)通過。”

 

　　就(jiu)該消息(xī)而言，三(sān)星與東(dōng)進半導(dǎo)體研發(fā)的EUV光刻(ke)膠産品(pǐn)隻是👉成(chéng)功通過(guò)了測試(shi)，距離量(liang)産時間(jiān)還不确(què)定，但這(zhe)一🧡消息(xī)也表明(míng)三星已(yi)經在EUV光(guang)刻膠方(fang)面取得(dé)成功，量(liang)産将隻(zhi)是時👉間(jian)問題。