導(dǎo)言：光刻膠目(mù)前廣泛用于(yú)光電信息産(chan)業的微細👣圖(tu)形❓線路加🌈工(gong)制作，光刻工(gōng)藝的成本約(yuē)占整個芯片(piàn)制造工❤️藝的(de)35%，耗時占整個(ge)芯片工藝的(de)40%到60%，是半導體(ti)制造中的核(he)心工藝。光刻(ke)膠材料約♌占(zhàn)芯片制造材(cai)料總成本的(de)4%，是半☁️導體集(ji)成電路制造(zao)的核心材料(liao)。
中國光刻膠(jiāo)市場增速高(gao)于國際水平(ping)，據前瞻産業(ye)研究院數據(jù)，2019年我國光刻(kè)膠本土供應(yīng)量約70億元，自(zi)🔴2010年起複合📧增(zēng)速達11%，遠高于(yú)✉️全球增速，但(dàn)本土供應量(liang)在全球占比(bi)僅🔞10%左右，且以(yi)已經實現國(guó)産替代的主(zhu)要是中低端(duan)PCB光刻膠，LCD和半(bàn)導體領域的(de)光刻膠自給(gei)率極低。
光刻(ke)膠是圖形轉(zhuǎn)移介質，其利(lì)用光照反應(yīng)後溶解度不(bu)同将掩膜版(bǎn)圖形轉移至(zhi)襯底上，主要(yào)由感光❌劑(光(guāng)✏️引發㊙️劑)、聚合(he)劑(感光❌樹脂(zhī))、溶劑與助劑(jì)構成。
光刻膠(jiāo)原材料主要(yào)爲樹脂、溶劑(ji)和其他添加(jia)劑。其中溶🏃劑(jì)質量占比最(zui)大，一般在80%以(yǐ)上。其他添加(jiā)劑質量占比(bǐ)雖不足5%，卻是(shi)決定♍光刻膠(jiao)特有性質的(de)關鍵材料，包(bāo)🥰括光敏劑、表(biao)面💞活性劑🔞等(děng)材料。
在光刻(kè)工藝中，光刻(ke)膠被均勻塗(tu)布在矽片、玻(bo)璃和📱金屬等(deng)不同的襯底(di)上，經曝光、顯(xiǎn)影和蝕刻等(deng)工序将掩膜(mó)版上的圖形(xíng)轉移到薄膜(mo)上，形成與掩(yǎn)膜版完全對(dui)應的幾🏃♂️何圖(tú)形。
光刻膠可(kě)根據其下遊(you)應用領域分(fen)爲半導體光(guāng)刻膠、面闆光(guāng)刻膠和PCB光刻(kè)膠三類。
半導(dao)體光刻膠
目(mù)前，KrF/ArF仍是主流(liu)的加工材料(liào)。光刻技術随(suí)着集成電路(lù)的👨❤️👨發♍展經曆(li)了從G線（436nm）光刻(kè)，H線（405nm）光刻，I線（365nm）光(guāng)刻，到深紫外(wài)線DUV光刻（KrF248nm和ArF193nm）、193nm浸(jin)沒式加多重(zhong)成像技術（32nm-7nm），在(zai)到極端紫外(wai)線（EUV，＜13.5nm）光刻的發(fā)❓展，甚至采用(yòng)非光學光刻(kè)（電子束曝光(guang)、離子束曝光(guang)），以相應波長(zhǎng)爲感光波長(zhang)的各類光‼️刻(kè)膠也應用而(er)生。
光刻膠市(shì)場行業集中(zhōng)度高。日本企(qi)業在半導體(ti)光刻🏒膠領✔️域(yu)占據絕對優(you)勢。半導體光(guang)刻膠主要生(shēng)産企業包括(kuò)日本東京應(yīng)化、JSR、住友化學(xué)、信越化學；韓(hán)國東進世美(mei)肯；美⚽國陶氏(shì)杜邦，其中日(rì)本企業占據(ju)約70%市場份額(e)。分産品看，東(dong)京應化💰在g線(xian)/i線和Krf光刻膠(jiao)領域居龍頭(tou)地♉位，市場份(fen)額分别達到(dào)27.5%和32.7%。JSR在Arf光刻膠(jiāo)領域市占率(lǜ)最高，爲25.6%。
根據(jù)富士經濟預(yu)測，2023年全球ArF、KrF膠(jiao)産能有望達(dá)到1870、3650噸，市場規(guī)模👌近49、28億元。日(ri)本光刻膠龍(lóng)頭JSR、TOK包括光刻(ke)膠在内的業(yè)務毛🈲利率約(yuē)40%，其中光刻膠(jiāo)原料成本約(yuē)占90%。
國内半導(dǎo)體用光刻膠(jiao)生産企業包(bāo)括上海新陽(yáng)、南大😄光電、晶(jīng)瑞股份、北京(jīng)科華、恒坤股(gǔ)份。目前隻有(yǒu)北🔴京科華、晶(jīng)瑞股份具備(bei)量産KrF光刻膠(jiao)能力，北京科(kē)華産品已爲(wèi)中芯國際供(gòng)貨。上海新陽(yáng)在建的19000噸/年(nián)ArF（幹法）光刻膠(jiāo)♌項目預計2022年(nián)達産。
面闆光(guang)刻膠
光刻膠(jiāo)是LCD面闆制造(zao)的關鍵材料(liao)，根據使用對(dui)象的不同，又(yòu)可分爲RGB膠、BM膠(jiāo)、OC膠、PS膠、TFT膠等。
面(miàn)闆光刻膠主(zhǔ)要包括TFT配線(xian)用光刻膠、LCD/TP襯(chèn)墊料光刻膠(jiāo)、彩🔞色光刻膠(jiāo)及黑色光刻(ke)膠四大類别(bie)。其中TFT配線用(yòng)光刻膠用于(yú)對ITO布線，LCD/TP沉澱(diàn)料光刻膠用(yòng)于使LCD兩個玻(bō)璃基闆間的(de)🍉液晶材料厚(hòu)度⚽保持恒♍定(ding)。彩色光刻膠(jiāo)及黑色光刻(kè)膠可賦予彩(cǎi)色👌濾光片顯(xiǎn)色功能。
面闆(pan)光刻膠市場(chǎng)需要構成穩(wěn)定，彩色光刻(kè)膠需求量領(ling)先，預計2022年全(quán)球銷售量将(jiāng)達22900噸，銷售額(e)将達8.77億美元(yuan)。
TFT面闆用光刻(kè)膠、LCD/TP襯墊料光(guang)刻膠、黑色光(guāng)刻膠銷售額(é)📱2022年預計👄分别(bie)達到3.21億美元(yuán)、2.51億美元、1.99億美(mei)元。
根據智研(yán)咨詢測算，2020年(nian)全球面闆光(guang)刻膠市場規(guī)模将達㊙️到⛱️167億(yi)人🌂民币，增速(su)維持在4%左右(you)。根據我們的(de)測算，到2025年光(guāng)刻膠市場規(guī)模将達到203億(yì)人民币。其中(zhōng)，伴💛随LCD産業中(zhōng)心的🈲轉移，我(wǒ)國LCD光刻膠市(shì)場規模及國(guo)産化率有望(wàng)逐步提升。
PCB用(yong)光刻膠
PCB光刻(kè)膠可根據塗(tu)布方式分爲(wèi)UV固化油墨和(he)UV噴塗油墨。目(mu)前國内PCB油墨(mo)供應商已逐(zhu)步實現國産(chǎn)替代，容大感(gǎn)光、廣信材料(liào)等企業已掌(zhǎng)握PCB油墨關鍵(jiàn)技術。
國内對(dui)TFT光刻膠和半(ban)導體光刻膠(jiāo)仍在起步探(tàn)索階🈲段💰。晶瑞(ruì)🤩股份、雅克科(kē)技、永太科技(jì)、容大感光、欣(xin)奕華、中電😘彩(cai)虹、飛凱材料(liao)在TFT光刻膠領(ling)域均有布局(ju)，其中飛凱材(cái)料、北旭電子(zǐ)規劃産能高(gao)達5000噸/年，雅克(kè)科技🐅通過收(shōu)購LG化學下屬(shǔ)彩色光刻膠(jiao)事業部切入(rù)此市場，在渠(qú)道和技術方(fang)面具🔞備優勢(shi)。
光刻膠等技(jì)術壁壘極高(gāo)的行業，實現(xiàn)技術層面的(de)突破是基礎(chu)、其次，需不斷(duan)改進工藝，滿(mǎn)足半導體行(hang)業快🥰速發💃展(zhǎn)的需要。
由于(yú)光刻膠等行(hang)業認證時間(jiān)較長，客戶不(bú)會輕易更換(huan)供🥵應商，因此(ci)進入主流供(gong)應鏈是極其(qi)必要的🚩。國内(nèi)光刻💋膠生産(chǎn)商未來🐉有望(wang)把握中國半(ban)導體行業進(jìn)口替代契機(ji)，實現快速發(fa)🧑🏾🤝🧑🏼展。
◆ 資料來源(yuan)：電子材料圈(quan)
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