晶瑞(rui)電材：已(yi)啓動ArF（193）高(gao)端光刻(ke)膠研發(fa)，KrF光刻膠(jiao)完成中(zhong)試

　　11月22日(ri)，晶瑞電(dian)材在特(te)定對象(xiang)調研活(huo)動中表(biao)示，目前(qian)ArF(193)高端光(guang)刻膠研(yan)發工作(zuo)已正式(shi)啓動，已(yi)完成光(guang)刻機、勻(yun)膠顯影(ying)機、掃描(miao)電鏡、台(tai)階儀等(deng)設備購(gou)置，其中(zhong)ASML1900Gi型光刻(ke)機設備(bei)正在積(ji)極調試(shi)中🥑️。同時(shi)公💁🏼‍♀️司正(zheng)在積極(ji)開展對(dui)上🤑遊材(cai)料樹脂(zhi)單體及(ji)👺配方的(de)研⛹🏻‍♂️究。

 

　　公(gong)司高端(duan)KrF(248)光刻膠(jiao)已完成(cheng)中試，建(jian)成了中(zhong)試示範(fan)線，已進(jin)入客戶(hu)測試階(jie)段。近期(qi)已購得(de)KrF光刻機(ji)一台，可(ke)用于KrF光(guang)刻膠的(de)曝光測(ce)試，同時(shi)公司KrF光(guang)刻膠量(liang)産化生(sheng)産線正(zheng)在積極(ji)建設中(zhong)。

 

　　據晶瑞(rui)電材表(biao)示，此前(qian)，公司已(yi)經購得(de)用于負(fu)膠、g 線✡️、i線(xian)👽、ArF 等 4 台光(guang)刻機，再(zai)加之此(ci)次購得(de)的KrF光刻(ke)機，公司(si)已💔經到(dao)位5台光(guang)刻機。

 

來(lai)源：晶瑞(rui)電材官(guan)網

 

　　此外(wai)據晶瑞(rui)電材透(tou)露，晶瑞(rui)(湖北)微(wei)電子材(cai)料項目(mu)😌一期目(mu)前正在(zai)設備安(an)裝調試(shi)階段。

 

　　據(ju)悉，2025年11月(yue)，晶瑞電(dian)材(原晶(jing)瑞股份(fen))發布公(gong)告稱，拟(ni)在湖北(bei)省潛江(jiang)市投資(zi)建設晶(jing)瑞(湖北(bei))微電子(zi)材料項(xiang)目，生産(chan)光刻膠(jiao)及其⛹🏻‍♀️相(xiang)關配套(tao)的功能(neng)性材料(liao)、電子👋級(ji)雙氧水(shui)、電子級(ji)氨水等(deng)半導體(ti)及面闆(pan)顯示用(yong)電😺子材(cai)料等，項(xiang)目計劃(hua)總投資(zi)約👯🏾‍♂️爲人(ren)民币15.2億(yi)元。

 

　　晶瑞(rui)電材在(zai)該調研(yan)活動中(zhong)還表示(shi)，受益于(yu)我國半(ban)導👩‍🍼體✡️材(cai)料行業(ye)國産替(ti)代進程(cheng)提速，下(xia)遊芯片(pian)廠商需(xu)求增長(zhang)，當前公(gong)司主導(dao)産品半(ban)導體級(ji)光刻膠(jiao)及配套(tao)材料、超(chao)淨高純(chun)試劑、锂(li)電池材(cai)料等産(chan)銷兩旺(wang)。

 

　　未來随(sui)着公司(si) KrF 光刻膠(jiao)測試完(wan)成并逐(zhu)步量産(chan)、ArF 光刻👿膠(jiao)研發成(cheng)😁功并最(zui)終量産(chan)，以及公(gong)司南通(tong)、陝西、四(si)川等基(ji)地新👯🏾‍♂️增(zeng)的高純(chun)硫酸🤑、NMP、光(guang)刻膠等(deng)産品産(chan)能的逐(zhu)步釋放(fang)，有望成(cheng)爲公司(si)新的利(li)潤增長(zhang)點。